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PUR-TX高纯气体露点变送器
产品简介
在诸多高纯净气体的应用场合,如半导体行业,为了满足工业过程的要求,气体中残留的微量水分是极为关键的参数.实践操作中测量水分含量是非常困难的,因为期间需要使用复杂的湿度分析仪或昂贵分析技术.现在,密析尔给市场带来了简便,经济而且高效率的露点在线测量的解决方案,最低露点温度可测达-120℃(相当于<1ppb).Pura 变送器汇集了密析尔生产和校验阻抗露点变送器方面的经验和专业知识,并结合了工业标准选材和制造工艺,使之成为第一款适用于大规模集成半导体制造工厂及高纯净气体行业中的低价位变送器
产品特点
1.安装简便
2.高度的稳定性和重复性
3.测量范围达-120℃露点(<1ppbV)
4.100级洁净室净化包装
| 测量范围: |
-120…40℃露点 |
| 精 度: |
±1℃露点 |
| 工作压力: |
30Mpa |
| 工作温度: |
-20…+50℃ |
| 气室材料: |
冷拉不锈钢,内部0.1…0.2微米电抛光 |
| 防护等级: |
IP65 |
| 气路接口: |
1/4 ’’VCR |
| 流量等级: |
建议位1…5NL/Min |
| 工作电源: |
12…28VDC |
| 输出信号: |
4…20 mA (RS485可选) |
| 溯源性: |
NPL(英国)和NIST(美国) |
| 质量保证期: |
12个月 |